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影響表面檢查燈檢測瑕疵效果的因素有哪些?
點擊次數:2051 更新時間:2020-03-17
表面檢查燈,從廣義上來說:檢查表面情況的燈具都是表面檢查燈。主要為綠光、黃綠光為光源,樣式主要有便攜的手電筒、手持式、燈條式、懸掛式、桌面式。有的因為被用于不同材質表面檢查不同的情況,而被命名多種。深圳熒鴻網站產品中心表面檢查燈分類下的燈主要是檢查玻璃、屏幕、晶圓等材質表面瑕疵(微塵、刮花),其他的表面檢查燈,根據應用的材質不同而被不同命名。
綠光表面檢查燈利用了介于500nm波長以上眼睛感覺Z舒服的波段,來做透明玻璃或是鏡面不銹綱工作對象particle及刮傷判別檢查。3300應用場合在晶圓、光盤片、曝光玻璃、玻璃光罩、底片、LCD ITO等表面之顆粒Particle異物及刮痕檢查。需要指出的是,該儀器只是對本來存在顆粒異物等的“放大"作用,為主觀判斷的表面檢查燈。
綠光因是人眼敏感的光源,因此被用來檢查工件表面的灰塵、刮痕、毛刺、凹凸等等缺陷,不同廠家的綠光檢查燈制作工藝不一,影響綠光表面檢查燈檢測瑕疵效果的因素如下:
照度
表面檢查燈的照度越高,檢查的效果越好,被檢查的瑕疵就越清晰。因為灰塵異物吸收燈光激發熒光反應,刮花缺陷吸收足夠的強度發生反射,這就讓瑕疵們很好的被發現。
均勻性
表面檢查燈燈光的均勻性越好,檢查效果越好。檢查燈的均勻性除了添加勻光片外,還跟光學透鏡的設計,發光角度,高度,以及燈的整體布局都有關系。
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